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一种版图修正方法、存储介质及终端,其中修正方法包括:提供初始版图,所述初始版图包括若干主图形;将所述初始版图划分为若干版块区域,相邻的所述版块区域之间具有版块边界;采用辅助图形的并行计算方法,在每个所述版块区域内形成若干第一辅助图形;基于所...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。
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一种版图修正方法、存储介质及终端,其中修正方法包括:提供初始版图,所述初始版图包括若干主图形;将所述初始版图划分为若干版块区域,相邻的所述版块区域之间具有版块边界;采用辅助图形的并行计算方法,在每个所述版块区域内形成若干第一辅助图形;基于所...