下载扁—圆一体化结构型介质阻挡放电半导体泵浦惰性气体激光器的技术资料

文档序号:42854774

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本发明属于气体放电及激光应用领域中的气体激光器,具体地说是一种扁—圆一体化结构型介质阻挡放电半导体泵浦惰性气体激光器,包括真空腔体、电激励系统、密封系统组件、供气系统、真空抽气系统、真空监测系统、高压监测系统、泵浦及出光系统,真空腔体经密封...
该专利属于中国科学院大连化学物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院大连化学物理研究所授权不得商用。

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