【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于气体放电及激光应用领域中的气体激光器，具体地说是一种扁—圆一体化结构型介质阻挡放电半导体泵浦惰性气体激光器。
技术介绍
1、随着激光器技术的不断发展，社会生产以及国防军事等相关领域对于高功率激光器的需求不断增加，推动了各类高功率激光器的快速发展。在全固态激光器领域，利用合束技术和主振荡功率放大器技术，其激光光强目前已经实现100kw。ipg photonics公司的连续工业光纤激光器，其输出功率已突破100kw，具有稳定性高、电光转换效率高等优点。而输出功率最高的化学氧碘激光器，已成功应用于国防军事领域，并完成了地面试验。由此可见，各类激光器在高功率输出领域上均取得了一系列阶段性的研究成果。
2、尽管对于各类高功率激光器的科学探索与技术专利技术进展迅速，成果斐然，但各类激光器由于自身所存在的物理局限，迈向更高输出功率的研究与应用仍然面临着许多挑战：高功率光纤激光器由于其端面损伤和非线性效应等物理因素，制约了单根光纤输出功率的不断提升；高功率二氧化碳激光器存在体积结构庞大，激励效率较低等缺点；高功率全固态激光器具...
【技术保护点】
1.一种扁—圆一体化结构型介质阻挡放电半导体泵浦惰性气体激光器，其特征在于：包括真空腔体(1)、电激励系统、密封系统组件、供气系统、真空抽气系统、真空监测系统、高压监测系统和泵浦及出光系统，其中真空腔体(1)为中空结构，中间为扁管、两端为圆管，所述电激励系统包括金属电极(2)及高压交流电源(3)，所述扁管的上下两侧均安装有金属电极(2)，所述高压交流电源(3)的高压输出端通过导线(4)与扁管上侧的金属电极(2)连接，所述高压交流电源(3)的接地端通过导线(4)与扁管下侧的金属电极(2)及地线(5)连接；所述真空腔体(1)的两端均连接有密封系统组件，所述密封系统组件包括...
【技术特征摘要】
1.一种扁—圆一体化结构型介质阻挡放电半导体泵浦惰性气体激光器，其特征在于：包括真空腔体(1)、电激励系统、密封系统组件、供气系统、真空抽气系统、真空监测系统、高压监测系统和泵浦及出光系统，其中真空腔体(1)为中空结构，中间为扁管、两端为圆管，所述电激励系统包括金属电极(2)及高压交流电源(3)，所述扁管的上下两侧均安装有金属电极(2)，所述高压交流电源(3)的高压输出端通过导线(4)与扁管上侧的金属电极(2)连接，所述高压交流电源(3)的接地端通过导线(4)与扁管下侧的金属电极(2)及地线(5)连接；所述真空腔体(1)的两端均连接有密封系统组件，所述密封系统组件包括法兰圆筒(8)及玻璃窗口(11)，每端的所述法兰圆筒(8)的一端均与同端的真空腔体(1)的圆管密封连接，每端的所述法兰圆筒(8)的另一端均密封安装有玻璃窗口(11)，所述供气系统、真空抽气系统、真空监测系统及高压监测系统分别与法兰圆筒(8)相连通；所述泵浦及出光系统包括泵浦源(33)、光隔离器(34)、高反镜a(35)、聚焦透镜(36)、二向色镜(37)、输出耦合镜(38)、高反镜b(39)、光纤探头(42)、光纤(43)及光谱仪(44)，由所述泵浦源(33)发出的泵浦源激光(40)经过光隔离器(34)并通过高反镜a(35)反射后再依次通过聚焦透镜(36)、二向色镜(37)由真空腔体(1)一端的密封系统组件投射入真空腔体(1)内，经过所述电激励系统的放电区后由真空腔体(1)另一端的密封系统组件输出出射激光(41)，所述出射激光(41)经过输出耦合镜(38)并通过高反镜b(39)反射后投射入光纤探头(42)，通过所述光纤(43)由光谱仪(44)监测输出波长及展宽。
2.一种扁—圆一体化结构型介质阻挡放电半导体泵浦惰性气体激光器，其特征在于：包括真空腔体(1)、电激励系统、密封系统组件、供气系统、真空抽气系统、真空监测系统、高压监测系统和泵浦及出光系统，其中真空腔体(1)为中空结构，中间为扁管、两端为圆管，所述电激励系统包括电晕放电系统及介质阻挡放电系统，所述电晕放电系统包括针电极(45)及直流高压电源(46)，所述针电极(45)密封插设于真空腔体(1)的扁管处，所述针电极(45)的针尖位于扁管内，针尾裸露于扁管外，并与所述直流高压电源(46)连接；所述介质阻挡放电系统包括金属电极(2)及高压交流电源(3)，所述扁管的上下两侧均安装有金属电极(2)，所述高压交流电源(3)的高压输出端通过导线(4)与扁管上侧的金属电极(2)连接，所述高压交流电源(3)的接地端通过导线(4)与扁管下侧的金属电极(2)及地线(5)连接，所述直流高压电源(46)的负压端与地线(5)连接；所述真空腔体(1)的两端均连接有密封系统组件，所述密封系统组件包括法兰圆筒(8)及玻璃窗口(11)，每端的所述法兰圆筒(8)的一端均与同侧的真空腔体(1)的圆管密封连接，每端的所述法兰圆筒(8)的另一端均密封安装有玻璃窗口(11)，所述供气系统、真空抽气系统、真空监测系统及高压监测系统分别与法兰圆筒(8)相连通；所述泵浦及出光系统包括泵浦源(33)、光隔离器(34)、高反镜a(35)、聚焦透镜(36)、二向色镜(37)、输出耦合镜(38)、高反镜b(39)、光纤探头(42)、光纤(43)及光谱仪(44)，由所述泵浦源(33)发出的泵浦源激光(40)经过光隔离器(34)并通过高反镜a(35)反射后再依次通过聚焦透镜(36)、二向色镜(37)由真空腔体(1)一端的密封系统组件投射入真空腔体(1)内，经过所述电激励系统的放电区后由真空腔体(1)另一端的密封系统组件输出出射激光(41)，所述出射激光(41)经过输出耦合镜(38)并通过高反镜b(39)反射后投射入光纤探头(42)，通过所述光纤(43)由光谱仪(44)监测输出波长及展宽。
3.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨亮，李庆伟，徐永锋，周冬建，吴克难，回晓康，石文波，金玉奇，
申请(专利权)人：中国科学院大连化学物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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