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一种晶圆失效模式识别方法、装置、设备及介质。所述方法包括：获取待识别晶圆的良率测试数据及失效区域的特征数据；结合所述良率测试数据及失效区域的特征数据，判断所述待识别晶圆的预设区域是否为失效区域；基于所述失效区域的判断结果，确定所述待识别晶圆...
该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

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