下载碳化硅涂层石墨基座及其制备方法与应用的技术资料

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本发明涉及一种碳化硅涂层石墨基座及其制备方法与应用,该碳化硅涂层石墨基座的制备方法,包括以下步骤:将含硅粉体以及石墨基座置于反应容器中,含硅粉体选自SiO粉体或Si粉中的一种;对反应容器进行抽真空处理,向反应容器中通入CO气体并加热,CO气...
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