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本发明提供本发明提供一种氧化铪基铁电薄膜电容及其制作方法，包括：包括由下至上依次设置的：衬底层、下电极层、铁电层、上电极层；其中所述铁电层包括至少一个堆叠结构，所述堆叠结构包括至少两层氧化锆和至少两层氧化铪，具有较低退火温度，减少了电极与铁...
该专利属于湘潭大学所有，仅供学习研究参考，未经过湘潭大学授权不得商用。

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