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气体传感器模块和带气体检测功能的设备制造技术
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文档序号:42851204
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本发明提供提高了耐振动性的气体传感器模块和带气体检测功能的设备。气体传感器模块(20)具备:气体传感器(10),其具备框部(14)、支承框部的支承部(13)以及作为由框部和支承部围起来的空间且是供外部气体导入的中空部(15),该气体传感器对...
该专利属于旭化成微电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过旭化成微电子株式会社授权不得商用。
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