气体传感器模块和带气体检测功能的设备制造技术

技术编号:42851204 阅读:33 留言:0更新日期:2024-09-27 17:19
本发明专利技术提供提高了耐振动性的气体传感器模块和带气体检测功能的设备。气体传感器模块(20)具备:气体传感器(10),其具备框部(14)、支承框部的支承部(13)以及作为由框部和支承部围起来的空间且是供外部气体导入的中空部(15),该气体传感器对导入到中空部的外部气体中所含的被检测气体进行检测;以及基板(21),其与支承部相连接,基板的弯曲刚度评价值为2以上,该弯曲刚度评价值通过气体传感器的厚度相对于基板的厚度的第1比乘以气体传感器的杨氏模量相对于基板的杨氏模量的第2比而得。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及气体传感器模块和带气体检测功能的设备


技术介绍

1、检测气体的气体传感器应用于各种领域。伴随着半导体技术、mems技术的发展,气体传感器不断小型化,相对于各种电子设备的壳体内的搭载不断发展。例如专利文献1公开了一种气体传感器被组装于发光面板内的贯通表背的孔中的信息显示装置。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1:日本特开2005-227002号公报


技术实现思路

1、专利技术要解决的问题

2、气体传感器要求搭载于例如智能手机等电池驱动的小型电子设备。但是,在内置于小型电子设备的情况下,例如落下或碰撞等产生的对壳体的冲击(外力)会导致振动传递到气体传感器,成为施加于气体传感器的应力。当气体传感器被施加应力时,输出特性发生变动。为了防止测量精度因振动而下降,要求提高气体传感器的耐振动性的技术。

3、本公开鉴于这样的情况而完成,其目的在于提供提高了耐振动性的气体传感器模块和带气体检测功能的设备。

4、用于解决问题的方案...

【技术保护点】

1.一种气体传感器模块,其中,

2.根据权利要求1所述的气体传感器模块,其中,

3.根据权利要求1或2所述的气体传感器模块,其中,

4.根据权利要求1或2所述的气体传感器模块,其中,

5.根据权利要求1或2所述的气体传感器模块,其中,

6.根据权利要求5所述的气体传感器模块,其中,

7.根据权利要求6所述的气体传感器模块,其中,

8.一种带气体检测功能的设备,其中,

9.根据权利要求8所述的带气体检测功能的设备,其中,

10.根据权利要求8所述的带气体检测功能的设备,其中,

...

【技术特征摘要】

1.一种气体传感器模块,其中,

2.根据权利要求1所述的气体传感器模块,其中,

3.根据权利要求1或2所述的气体传感器模块,其中,

4.根据权利要求1或2所述的气体传感器模块,其中,

5.根据权利要求1或2所述的气体传感器模块,其中,

6.根据权利要求5所述的气体传感器模块,其中,

7.根据权利要求6所述的气体传感器模块,其中,

8.一种带气体检测功能的设备,其中,

9.根据权利要求8所述的带气体检测功能的设备,其中,

10...

【专利技术属性】
技术研发人员:益田征典古屋贵明
申请(专利权)人:旭化成微电子株式会社
类型:发明
国别省市:

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