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一种整合二维均温板的三维蒸气腔元件，包含有上盖、下盖以及平板。上盖具有管体空腔以及基板空腔，下盖具有一相对于上盖的第一区域以及第二区域，第一区域具有第一外表面，当上盖接合于下盖的第一区域时，管体空腔以及基板空腔形成第一密闭气腔，下盖的第一外...
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