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本发明提供一种约瑟夫森隧道结及其制备方法，制备方法包括：于衬底层上图形化叠层结结构得到结区和底电极，于叠层结结构上设置初始绝缘层，平坦化初始绝缘层，形成结接触孔和电极接触孔，并形成引线层。本发明通过平坦化初始绝缘层，有效避免了结区上方接触孔...
该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。

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