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本发明涉及一种用于半导体量测的回归模型混合约束优化方法和系统，优化方法包括：输入初始信息及约束条件，构建含约束条件的增强目标函数；计算约束回归模型得到回归结果点向量，并且在计算过程中动态调整搜索点；根据约束条件，对所述回归结果点向量执行框式...
该专利属于上海诺睿科半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海诺睿科半导体设备有限公司授权不得商用。

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