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一种TFT器件的制备方法，包括：在玻璃基板上形成栅极金属层；在栅极金属层上形成栅极绝缘层；在栅极绝缘层上形成有源层；在有源层上形成源极金属层和漏极金属层；再覆盖源极绝缘层；其中，栅极金属层、源极金属层和漏极金属层的铝蚀刻液的酸浓度为：磷酸、...
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