下载基板传送装置和基板传送方法的技术资料

文档序号:42841912

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本发明公开了一种基板传送装置和基板传送方法,当高架起吊运输装置(OHT)临时装载容器时,即使在狭窄的空间中该装置和方法也可以装载更多的容器。所述基板传送装置包括:OHT,其用于在沿着轨道自主行进的同时传送容器;以及装载单元,其提供装载有所述...
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