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本技术涉及一种芯片刻蚀清洗装置，本技术涉及芯片刻蚀清洗技术领域，该芯片刻蚀清洗装置包括工作台，所述工作台上端通过螺栓固定有第一支柱，所述第一支柱上端通过螺栓固定有传送装置，所述传送装置内侧通过转轴连接有清洗盘，所述清洗盘贯穿设置有漏液孔，所...
该专利属于安徽佰亿微电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽佰亿微电子技术有限公司授权不得商用。

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