温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明的课题为抑制外部气体混入处理室内。基板处理装置具有：上部容器；下部容器，其设置于所述上部容器的下方，在与所述上部容器之间构成处理室；第一密封部，其配置于所述上部容器与所述下部容器的边界区域，并具有第一密封部件和第二密封部件；以及支撑部...
该专利属于株式会社国际电气所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社国际电气授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。