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本申请涉及一种晶圆偏移值计算方法、装置、设备及存储介质，应用在半导体集成电路制造技术领域，包括在机械手加载晶圆运动时，获取晶圆的移动信息；根据晶圆的移动信息，将晶圆的运动方向设定为第一方向，将与第一方向相互垂直的方向设定为第二方向；获取用户...
该专利属于无锡瓦力科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡瓦力科技有限公司授权不得商用。

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