下载一种晶圆支架组装辅助装置的技术资料

文档序号:42822175

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本申请涉及一种晶圆支架组装辅助装置,应用在半导体技术领域,包括:工作台,工作台的顶面平行设置有多个第一定位板,第一定位板的顶面设置有第一定位槽,工作台的顶面于相邻两个第一定位板之间均设置有定位组件,定位组件包括多个平行设置在工作台上的第二定...
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