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本发明提供了一种超临界晶圆清洗/干燥介质回收方法以及系统，能够实现清洗/干燥介质的高纯度的分离回收。本发明的第一方面提供了一种超临界晶圆清洗/干燥介质回收方法，包括以下步骤：清洗/干燥步骤，利用超临界态的清洗/干燥介质溶解并带走晶圆上附着的...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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