下载半导体元件及其作方法的技术资料

文档序号:42813233

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本发明公开一种半导体元件及其作方法,其中该制作半导体元件的方法为,主要先形成一鳍状结构于基底上,然后形成一第一凹槽以及一第二凹槽于该鳍状结构内,形成一第一介电层于该第一凹槽以及该第二凹槽内,去除部分该第一介电层,形成一第二介电层于该第一凹槽...
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