下载导流管安装结构及氧化亚硅生产设备的技术资料

文档序号:42807593

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本发明涉及一种导流管安装结构及氧化亚硅生产设备。该导流管安装结构包括炉体、调平组件、坩埚以及导流管,调平组件包括坩埚托盘以及多根调平柱,各调平柱底端与炉体螺纹连接,顶端承托坩埚托盘,坩埚设置于坩埚托盘;坩埚侧面沿水平方向贯通开设有导流孔,导...
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