下载一种多晶提纯炉的硅料投料方法的技术资料

文档序号:42805895

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本发明公开了一种多晶提纯炉的硅料投料方法,包括通道料仓,通道料仓上设有真空管路,所述真空管路上连接设有三通管,真空管路内设置有单独控制的电磁阀;三通管的两个自由端分别连接抽真空组件和小料仓;小料仓上分别设有进料口和抽真空口,抽真空口连接有抽...
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