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本发明公开了一种耐磨多主元合金多层膜制备方法，涉及合金多层膜制备技术领域；包括以下步骤：准备材料阶段、表面处理阶段、清洁基底阶段、准备真空环境阶段、溅射沉积阶段、多层膜制备阶段、结束和测试阶段；本发明得到的MPEA层是通过对CoCrNi靶材...
该专利属于西北工业大学深圳研究院所有，仅供学习研究参考，未经过西北工业大学深圳研究院授权不得商用。

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