一种耐磨多主元合金多层膜制备方法技术

技术编号:42803240 阅读:35 留言:0更新日期:2024-09-24 20:48
本发明专利技术公开了一种耐磨多主元合金多层膜制备方法,涉及合金多层膜制备技术领域;包括以下步骤:准备材料阶段、表面处理阶段、清洁基底阶段、准备真空环境阶段、溅射沉积阶段、多层膜制备阶段、结束和测试阶段;本发明专利技术得到的MPEA层是通过对CoCrNi靶材进行预氧化处理,使其成分调控为CrCoNiO等原子比的MPEA靶材,以获得强度更高的CoCrNiO硬相层,并且表面处理工艺简单,本发明专利技术进一步通过多层膜构筑技术,结合组元特性及多层界面强化作用,引入Ni层制备了MPEA/Ni多层膜以实现薄膜强度硬度与摩擦磨损性能的平衡,本发明专利技术所制备的MPEA/Ni多层膜组织结构致密、调制结构清晰,并且制备技术方法简单、重复性好,有望在航空航天航海机械机械装置中推广,具有广阔的应用前景。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及合金多层膜制备,具体为一种耐磨多主元合金多层膜制备方法


技术介绍

1、近二十年来,由多种元素以等原子比或近等原子比组成的多主元合金打破了传统的金属合金设计理念,得益于其独特热力学高熵效应、结构上的晶格畸变效应、动力学上的缓慢扩散、鸡尾酒效应在内的四大效应,多主元合金表现出更为的力学性能、出色的摩擦磨损抵抗能力、优异的耐腐蚀性和高温下的稳定性而受到了研究人员的高度关注。多主元合金领域取得了显著进展,孕育出多种具有里程碑意义的合金体系。因此,多主元合金被认为是未来极具潜力的材料之一,有望在众多应用中发挥关键作用。在众多多主元合金中,具有fcc结构的cocrni因其优异的拉伸强度、塑性和断裂韧性而成为十分具有工业应用前景的合金之一,然而,单一cocrni多主元合金屈服强度及硬度力学性能并不能够满足实际应用中的具体需求,特别是面对实际工作条件下不可避免会发生摩擦磨损,而相应的氧化处理形成的硬陶瓷相通常具有较好的硬度与耐磨性。此外,多层构筑技术是合金纳米薄膜中一种可显著提升材料性能且易于调控的手段,由于金属多层膜具有多样化的亚层成分组合以及丰富的层间本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种耐磨多主元合金多层膜制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.如权利要求1所述的一种耐磨多主元合金多层膜制备方法,其特征在于:

3.如权利要求2所述的一种耐磨多主元合金多层膜制备方法,其特征在于:

4.如权利要求1所述的一种耐磨多主元合金多层膜制备方法,其特征在于:

5.如权利要求1所述的一种耐磨多主元合金多层膜制备方法,其特征在于:

6.如权利要求1所述的一种耐磨多主元合金多层膜制备方法,其特征在于:

【技术特征摘要】

1.一种耐磨多主元合金多层膜制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.如权利要求1所述的一种耐磨多主元合金多层膜制备方法,其特征在于:

3.如权利要求2所述的一种耐磨多主元合金多层膜制备方法,其特征在于:

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【专利技术属性】
技术研发人员:周青焦智超黄卓斌马阳阳王海丰
申请(专利权)人:西北工业大学深圳研究院
类型:发明
国别省市:

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