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一种半导体结构及其形成方法,结构包括:基底;栅极结构,位于所述基底的顶部;源漏掺杂层,位于所述栅极结构两侧的基底中;源漏互连线,位于所述源漏掺杂层的顶部,且所述源漏互连线与所述源漏掺杂层电连接;栅极互连线,位于所述栅极结构侧部的基底顶部,且...该专利属于中芯国际集成电路制造(深圳)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(深圳)有限公司授权不得商用。
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一种半导体结构及其形成方法,结构包括:基底;栅极结构,位于所述基底的顶部;源漏掺杂层,位于所述栅极结构两侧的基底中;源漏互连线,位于所述源漏掺杂层的顶部,且所述源漏互连线与所述源漏掺杂层电连接;栅极互连线,位于所述栅极结构侧部的基底顶部,且...