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一种多晶硅片切割装置及其切割方法制造方法及图纸
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下载一种多晶硅片切割装置及其切割方法的技术资料
文档序号:42791490
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本发明涉及多晶硅片加工领域,且公开了一种多晶硅片切割装置及其切割方法,有效的解决了目前多晶硅棒在切割过程中可能发生偏移,使得多晶硅片切割稳定性不佳的问题,包括机体,所述机体上安装有控制器,机体的内部开设有切割腔,切割腔的正面铰接有箱门,切割...
该专利属于江西久顺科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江西久顺科技有限公司授权不得商用。
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