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本申请涉及一种抛光碳化硅的方法。所述抛光方法包含使用一种抛光垫和含高锰酸盐的抛光液，所述抛光垫由热塑性聚氨酯制成，其孔隙度小于1％且其接触面积与非接触面积之比小于3。...
该专利属于陈湛所有，仅供学习研究参考，未经过陈湛授权不得商用。

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