下载半导体物料转运装置及半导体器件生产线的技术资料

文档序号:42789366

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本申请提供了一种半导体物料转运装置及半导体器件生产线,属于半导体器件技术领域。半导体物料转运装置包括:第一线性运动机构,滑动式连接于转递窗;提升机构,提升机构的第一端部连接于第一线性运动机构;架体,提升机构的第二端部连接于架体;机械抓手机构...
该专利属于济南光微半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过济南光微半导体科技有限公司授权不得商用。

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