半导体物料转运装置及半导体器件生产线制造方法及图纸

本申请提供了一种半导体物料转运装置及半导体器件生产线，属于半导体器件技术领域。半导体物料转运装置包括：第一线性运动机构，滑动式连接于转递窗；提升机构，提升机构的第一端部连接于第一线性运动机构；架体，提升机构的第二端部连接于架体；机械抓手机构，机械抓手机构滑动式连接于架体；其中，第一线性运动机构滑动以使机械抓手机构对正于待抓取物料的上方，提升机构升降运动以使机械抓手机构到达物料抓取位置，机械抓手机构滑动以实现抓取物料的收缩状态及松开物料的张开状态。本申请提供的半导体物料转运装置，通过精密的机械结构和自动化控制，有效提高了洁净室内的半导体物料转运的效率和安全性，减少了人工干预导致的污染问题。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于半导体器件，具体涉及一种半导体物料转运装置及半导体器件生产线。

技术介绍

1、随着半导体行业的蓬勃发展，生产工艺正朝着更高集成度的方向不断演进。其中，半导体物料转运是指在半导体制造过程中，将原材料、半成品、成品或废弃物等物料从一个工作站或工序安全、有效地转移到另一个工作站或工序的行为，这一过程需要高度清洁的环境，比如半导体洁净室，以防止污染物对半导体物料造成损害。

2、传统的半导体洁净室中，半导体物料的转运主要是通过人工进行，人员进出洁净室可能会带入微粒，污染环境，从而影响半导体物料的洁净度，且转运人员的操作专业性参差不齐，转运效率和转运安全性得不到保证。

技术实现思路

1、为了解决
技术介绍
中存在的至少一个方面的技术问题，本申请提供了一种半导体物料转运装置，通过精密的机械结构和自动化控制，有效提高了洁净室内的半导体物料转运的效率和安全性，减少了人工干预导致的污染问题。

2、本申请第二方面实施例提供一种半导体器件生产线。

3、本申请所采用的技术方案为：

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【技术保护点】

1.一种半导体物料转运装置，设置于半导体洁净室的转递窗上，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的半导体物料转运装置，其特征在于，所述机械抓手机构包括第一夹爪、第二夹爪、第一拉杆、第二拉杆、转动板及推拉驱动器；

3.根据权利要求2所述的半导体物料转运装置，其特征在于，所述第一夹爪包括第一抓手、第二抓手及第一连接板，所述第二夹爪包括第三抓手、第四抓手及第二连接板；

4.根据权利要求2所述的半导体物料转运装置，其特征在于，所述架体上还设置有转动板安装座，所述转动板安装座上设置有销轴；

5.根据权利要求2所述的半导体物料转运装置，其特征在于，...

【技术特征摘要】

1.一种半导体物料转运装置，设置于半导体洁净室的转递窗上，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的半导体物料转运装置，其特征在于，所述机械抓手机构包括第一夹爪、第二夹爪、第一拉杆、第二拉杆、转动板及推拉驱动器；

3.根据权利要求2所述的半导体物料转运装置，其特征在于，所述第一夹爪包括第一抓手、第二抓手及第一连接板，所述第二夹爪包括第三抓手、第四抓手及第二连接板；

4.根据权利要求2所述的半导体物料转运装置，其特征在于，所述架体上还设置有转动板安装座，所述转动板安装座上设置有销轴；

5.根据权利要求2所述的半导体物料转运装置，其特征在于，所述架体上设置有导轨；

6.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：单佩，李明骏，孙世轩，侯申，张弛，关蕾，黄芸，
申请(专利权)人：济南光微半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：