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本申请公开了一种抛光头组件及化学机械抛光设备，该抛光头组件包括：主轴，所述主轴上设置有主轴连接部；抛光头，所述抛光头用于设置于所述主轴的轴向一侧，所述抛光头上设置有抛光头连接部；连接件，所述连接件用于套设于所述主轴连接部和所述抛光头连接部，...
该专利属于江苏元夫半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏元夫半导体科技有限公司授权不得商用。

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