温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术公开了一种用于半导体湿制程的风囊泵，涉及风囊泵技术领域，该用于半导体湿制程的风囊泵，包括两个风囊泵侧支撑壳体与风囊泵主体，两个所述风囊泵侧支撑壳体分别通过螺栓安装在风囊泵主体的左右两侧，风囊泵主体的前侧横向中间位置上插接固定安装有泵头...
该专利属于合肥贝斯兰电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥贝斯兰电子科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。