【技术实现步骤摘要】
本技术涉及风囊泵，特别涉及一种用于半导体湿制程的风囊泵。
技术介绍
1、在半导体行业中，通常使用风囊泵来输送半导体用化学药液，风囊泵一般包括泵体和梭阀，梭阀直接或者间接地安装在泵体上；泵体包括两个对象流体室，每个对象流体室内设置有可膨胀或收缩的风囊，通过风囊的膨胀或收缩，实现在对象流体室中吸入或排出对象流体。
2、而现有的风囊泵在使用时，通常是利用滑块在空腔内移动，进而实现滑块在第一工位和第二工位之间的转换，当其滑块被卡死在第一工位和第二工位上时，第一侧风囊和第二侧风囊无法正常地膨胀和收缩，导致现有风囊泵使用时不稳定，可靠性低，且市面上的风囊泵重量通常比较大，对移动和运输来说十分不方便，而若直接在其底端装设轮子，会导致在使用风囊泵时出现风囊泵不稳定的情况，从而影响风囊泵的使用，实用性较低。
技术实现思路
1、(一)解决的技术问题
2、本技术的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种用于半导体湿制程的风囊泵，能够解决现有的风囊泵在使用时，通常是利用滑块在...
【技术保护点】
1.一种用于半导体湿制程的风囊泵，包括两个风囊泵侧支撑壳体(1)与风囊泵主体(2)，其特征在于：两个所述风囊泵侧支撑壳体(1)分别通过螺栓安装在风囊泵主体(2)的左右两侧，风囊泵主体(2)的前侧横向中间位置上插接固定安装有泵头(3)，泵头(3)上设置有吸入通道和排出通道，且泵头(3)上左右两侧分别安装有第一波纹管(4)与第二波纹管(5)；
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体湿制程的风囊泵，其特征在于：所述风囊泵主体(2)的内部横向中间位置上固定安装有主动轴(6),主动轴(6)与第一波纹管(4)和第二波纹管(5)均固定连接。
3.根据权利要求...
【技术特征摘要】
1.一种用于半导体湿制程的风囊泵，包括两个风囊泵侧支撑壳体(1)与风囊泵主体(2)，其特征在于：两个所述风囊泵侧支撑壳体(1)分别通过螺栓安装在风囊泵主体(2)的左右两侧，风囊泵主体(2)的前侧横向中间位置上插接固定安装有泵头(3)，泵头(3)上设置有吸入通道和排出通道，且泵头(3)上左右两侧分别安装有第一波纹管(4)与第二波纹管(5)；
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体湿制程的风囊泵，其特征在于：所述风囊泵主体(2)的内部横向中间位置上固定安装有主动轴(6),主动轴(6)与第一波纹管(4)和第二波纹管(5)均固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种用于半导体湿制程的风囊泵，其特征在于：所述第一传动轴单元包括第一吸力侧流体室和第一排液侧流体室；其中，第二传动轴单元包括第二吸入侧流体室和第二排出侧...
【专利技术属性】
技术研发人员：李超，杨瑞鹏，
申请(专利权)人：合肥贝斯兰电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。