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本发明涉及残留物检测技术领域，具体公开了一种用于反应釜残留物检测的装置及检测方法，包括：移动机构和视觉检测机构，移动机构用于实现视觉检测机构的竖直位移和旋转位移；视觉检测机构包括圆形支撑板；圆形支撑板的上端面与移动机构的末端连接，圆形支撑板...
该专利属于国镓芯科（成都）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过国镓芯科（成都）半导体科技有限公司授权不得商用。

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