下载一种存储器件的制造方法及存储器件的技术资料

文档序号:42774620

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本发明提供一种存储器件的制造方法及存储器件,所述存储器件的制造方法,至少包括以下步骤:提供一衬底;在衬底上形成底部堆叠结构;蚀刻底部堆叠结构,形成第一沟道孔,第一沟道孔底部的径向尺寸为第一间距,第一沟道孔顶部的径向尺寸为第二间距,第一间距小...
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