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本发明公开了一种晶圆片视觉检测设备，涉及晶圆片生产领域，包括工作台，所述工作台的上方通过升降机构连接有定位框，所述定位框内侧一端设置有视觉检测机构，且定位框内侧另一端设置有进出料机构。本发明将视觉检测机构与进出料机构设置在一个共同的定位框上...
该专利属于浙江蓝特光学股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江蓝特光学股份有限公司授权不得商用。

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