【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆片生产领域，具体为一种晶圆片视觉检测设备及检测方法。
技术介绍
1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为硅晶圆片。
2、晶圆片视觉检测主要依赖于计算机视觉、图像处理以及机器学习等先进技术的结合，以确保半导体制造过程中晶圆片的高质量和生产效率，视觉检测的核心在于使用计算机视觉系统来模拟人类视觉功能，通过高精度相机捕捉晶圆片的图像，图像处理技术随后被用来对捕获的图像进行预处理、增强、特征提取和分析，以便检测各种潜在的缺陷和杂质。
3、现有的晶圆片视觉检测设备大多是由一个机械手臂来完成上下料，首先通过人工将晶圆篮放在上下料的位置，然后机械手臂运动至晶圆篮内部将晶圆取到，然后再由机械手臂将晶圆送至检测相机的下方，机械手臂缩回等待，检测完成后，再将机械手臂伸入将检测好的晶圆取到并运送至晶圆篮放回，然后再重复进行下一个晶圆片的检测，机械手臂运动行程及运动范围大，则意味着中间消耗的时间长，会使工作效率降低，而且在通过人工放入晶圆篮时，很可能会因为操作不当使的晶圆篮斜着放入，这样就...
【技术保护点】
1.一种晶圆片视觉检测设备，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的上方通过升降机构连接有定位框(5)，所述定位框(5)内侧一端设置有视觉检测机构，且定位框(5)内侧另一端设置有进出料机构；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆片视觉检测设备，其特征在于：所述活塞柱(17)的内部设置有气槽(18)，且气槽(18)顶端封闭，所述顶板(19)一侧的两个拐角处皆设置有活动槽(20)，且两个活动槽(20)的内部皆通过转轴(21)转动连接有转动块(22)，所述转动块(22)的顶端连接有挡板(23)，所述转动块(22)的底端设置有受力面(33)，所述活动槽(20)...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆片视觉检测设备，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的上方通过升降机构连接有定位框(5)，所述定位框(5)内侧一端设置有视觉检测机构，且定位框(5)内侧另一端设置有进出料机构；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆片视觉检测设备，其特征在于：所述活塞柱(17)的内部设置有气槽(18)，且气槽(18)顶端封闭，所述顶板(19)一侧的两个拐角处皆设置有活动槽(20)，且两个活动槽(20)的内部皆通过转轴(21)转动连接有转动块(22)，所述转动块(22)的顶端连接有挡板(23)，所述转动块(22)的底端设置有受力面(33)，所述活动槽(20)的内侧设置有气囊(25)，且气囊(25)鼓起时会挤压受力面(33)从而带动转动块(22)围绕转轴(21)向上翻转，所述活塞柱(17)的内部还设置有连通气囊(25)与气槽(18)的气体通道(26)。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆片视觉检测设备，其特征在于：所述升降机构包括转动连接在工作台(1)顶部的四根螺杆(4)，且四根螺杆(4)皆与定位框(5)的四角处螺纹配合连接，所述工作台(1)的内部安装有带动螺杆(4)转动的电机。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆片视觉检测设备，其特征在于：所述视觉检测机构包括转动连接在定位框(5)内侧的两根横向丝杆(8)，且定位框(5)内侧通过与横向丝杆(8)的螺纹配合滑动连接有横向滑块(9)，两个横...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴明，陆建力，
申请(专利权)人：浙江蓝特光学股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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