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晶体管及其制造方法技术
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文档序号:4277245
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一种晶体管及其制造方法,该方法包括:在半导体衬底的有源区上方顺序形成栅极氧化层和多晶硅栅极,在邻近于多晶硅栅极的有源区中形成漂移区,以及然后通过向漂移区中同时注入各种类型的杂质离子来以比漂移区的深度分布浅的深度分布形成源极/漏极。...
该专利属于东部高科股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东部高科股份有限公司授权不得商用。
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