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本申请涉及一种压电传感芯片、模组及振动检测装置。所述芯片中支撑结构设置在保护盖板上，支撑结构设置有容纳腔；质量块设置在容纳腔内；悬臂梁设置在支撑结构上，悬臂梁的第一端部与质量块相连接；止挡结构设置在悬臂梁上；其中，悬臂梁、支撑结构、质量块和...
该专利属于深圳市芯悦声管理咨询合伙企业（有限合伙）所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市芯悦声管理咨询合伙企业（有限合伙）授权不得商用。

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