下载用于制造显示器件的方法的技术资料

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一种用于制造显示器件的方法,其包括以下步骤:通过在第一基板上进行SPC(固相结晶)过程而形成有源层;在含有90至97%流量的氢(H↓[2])和10至3%流量的硅烷(SiH↓[4])的大气下,在该有源层上形成非晶硅(a-Si)的缓冲层;在该缓...
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