下载一种无损检测非平面物品表面的装置的技术资料

文档序号:4273901

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本实用新型涉及一种无损检测非平面物品表面的装置,其特征在于:在激光器的光轴上与被测物品之间设置显微物镜;在被测样品反射光束的中心轴线上依次设置剪切角固定的光楔、柱透镜和线阵CCD;线阵CCD固定于二维方向移动微位移平台上,线阵CCD采集的图...
该专利属于西北工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过西北工业大学授权不得商用。

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