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提供一种化学放大型正型感光性组合物，其在表面具备金属层的基板上形成作为制作镀覆造形物的工艺的铸模的图案，该化学放大型正型感光性组合物即使在低温下也容易形成具有形成了较大底切的截面形状且对基板的密合性优异的抗蚀剂图案。使用如下化学放大型正型感...
该专利属于东京应化工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京应化工业株式会社授权不得商用。

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