下载基于空心硅纳米线结构氢气传感器制备方法及氢气传感器的技术资料

文档序号:42731878

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本发明基于空心硅纳米线结构氢气传感器制备方法,操作简单,成本低,选用双层悬空纳米结构纳米材料,先采用蚀刻溶液形成单层纳米结构纳米材料,再采用金属辅助化学蚀刻工艺,形成空心纳米线结构,从而进一步制备具有高比表面积的基于空心硅纳米线结构氢气传感...
该专利属于西南交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西南交通大学授权不得商用。

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