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本申请公开了一种ESD保护与隔离结构、MEMS器件及制造方法，涉及MEMS传感器技术领域。其中MEMS器件包括基板、设置于基板表面的固定电极、设置于固定电极表面的可动部，所述可动部与固定电极之间预留有微小间隙以实现可动部在静电或其他驱动下的...
该专利属于深圳市普瑞集成科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市普瑞集成科技有限公司授权不得商用。

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