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文档序号:42728998
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一种半导体装置,包括:有源图案,其在衬底的第一表面上并在第一方向上延伸;场绝缘膜,其在第一表面和有源图案的侧表面上;栅极结构,其在有源图案和场绝缘膜上并在与第一方向相交的第二方向上延伸;源极/漏极区,其在栅极结构的侧表面上并接触有源图案;以...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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