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一种硅基液晶器件及其形成方法,其中器件包括:半导体衬底;位于半导体衬底上的驱动电路层;位于驱动电路层上的液晶层,液晶层包括相对的第一侧和第二侧,半导体衬底和驱动电路层位于液晶层的第一侧;位于液晶层上的透明电极;位于透明电极上的透明衬底;位于...该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。
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一种硅基液晶器件及其形成方法,其中器件包括:半导体衬底;位于半导体衬底上的驱动电路层;位于驱动电路层上的液晶层,液晶层包括相对的第一侧和第二侧,半导体衬底和驱动电路层位于液晶层的第一侧;位于液晶层上的透明电极;位于透明电极上的透明衬底;位于...