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一种光学器件和半导体设备,涉及光学仪器技术领域,本申请提供的光学器件包括套筒、波片、导向圈和压圈,套筒设置有支撑部,压圈、导向圈、波片和支撑部沿轴向依次设置,导向圈上设有第一限位结构,套筒内设有第二限位结构,第一限位结构和第二限位结构配合以...该专利属于深圳市新凯来工业机器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市新凯来工业机器有限公司授权不得商用。
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一种光学器件和半导体设备,涉及光学仪器技术领域,本申请提供的光学器件包括套筒、波片、导向圈和压圈,套筒设置有支撑部,压圈、导向圈、波片和支撑部沿轴向依次设置,导向圈上设有第一限位结构,套筒内设有第二限位结构,第一限位结构和第二限位结构配合以...