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本发明公开了一种多层结构三维信息的测量方法及装置，测量方法包括如下步骤：1)对多层结构的顶面进行全区域光学扫描，获取反射光的强度分布信息；2)将反射光的强度分布信息转换为三维点云信息；通过最小二乘拟合三维点云信息得到多层型面；3)多层结构折...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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