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本发明涉及一种半绝缘碳化硅粉的制备方法,包括如下步骤:步骤一:在坩埚底部均匀铺设硅粉,形成硅粉层;步骤二:在硅粉层上放入一块硅板;硅板的直径与坩埚直径相同;步骤三:将高纯碳粉及高纯硅粉按照质量比1:1‑1:2混合均匀,并放入硅板上铺设均匀;...该专利属于湖南金博碳基材料研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖南金博碳基材料研究院有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种半绝缘碳化硅粉的制备方法,包括如下步骤:步骤一:在坩埚底部均匀铺设硅粉,形成硅粉层;步骤二:在硅粉层上放入一块硅板;硅板的直径与坩埚直径相同;步骤三:将高纯碳粉及高纯硅粉按照质量比1:1‑1:2混合均匀,并放入硅板上铺设均匀;...