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本申请提供一种谐振器及其制备方法，谐振器包括：衬底；底电极，位于衬底之上；压电层，压电层叠设于底电极之上；压电层远离衬底的表面设有凹陷框架；阻挡层，阻挡层叠设于压电层之上，阻挡层与压电层部分间隔形成气隙区，且气隙区位于凹陷框架的边缘；至少一...
该专利属于瑞声科技（新加坡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞声科技（新加坡）有限公司授权不得商用。

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