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具有13族元素氮化物单晶基板的层叠体制造技术
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下载具有13族元素氮化物单晶基板的层叠体的技术资料
文档序号:42698660
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针对具有13族元素氮化物单晶上的缓冲层、缓冲层上的厚度700nm以下的沟道层、以及沟道层上的势垒层的层叠体,抑制载流子面密度、载流子迁移率的降低。本层叠体1具备:13族元素氮化物单晶基板2,其由13族元素氮化物单晶构成,且具有第一主面2a及...
该专利属于日本碍子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本碍子株式会社授权不得商用。
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