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短程表面等离子体波与介质导波耦合结构及在传感上的应用制造技术
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文档序号:4269697
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本发明涉及一种短程表面等离子体波与普通介质导波混合耦合结构,包括介质衬底层;位于该介质衬底层上的介质波导层;位于该介质导波层上的耦合匹配层;以及形成于该耦合匹配层上的、用于传导短程表面等离子体波的短程表面等离子体波导部分。采用所述结构可实现...
该专利属于清华大学;罗姆公司所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学;罗姆公司授权不得商用。
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